发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVI CE
摘要
申请公布号 JPS5324291(A) 申请公布日期 1978.03.06
申请号 JP19760099111 申请日期 1976.08.18
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 YAMAZAKI KENZOU
分类号 H01L21/3213;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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