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发明名称
DEVICE FOR CONTROLLING BEAM DEFLECTION FOR USE IN ELECTRON BEAM MACHINING DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5336797(A)
申请公布日期
1978.04.05
申请号
JP19760110985
申请日期
1976.09.16
申请人
DENGENSHA MFG CO LTD
发明人
KATOU MASAHIRO
分类号
H01J37/30;B23K15/00;B23K15/02
主分类号
H01J37/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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