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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要 <p>PURPOSE:To reduce the damage of the pellet through division utilizing the cleavage surface.</p>
申请公布号 JPS5355959(A) 申请公布日期 1978.05.20
申请号 JP19760131080 申请日期 1976.10.29
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 FUKUYAMA MASAHIRO
分类号 H01L21/301;H01L21/78 主分类号 H01L21/301
代理机构 代理人
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