METHOD OF FORMING PATTERN AND MASK USED THEREFOR,申请号JP19760157412-传众专利搜索

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发明名称	METHOD OF FORMING PATTERN AND MASK USED THEREFOR
摘要
申请公布号	JPS5382270(A)	申请公布日期	1978.07.20
申请号	JP19760157412	申请日期	1976.12.28
申请人	CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI	发明人	IWAMATSU SEIICHI
分类号	G03F1/60;H01L21/027;H01L21/302	主分类号	G03F1/60
代理机构		代理人
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