发明名称 VORRICHTUNG ZUM HERSTELLEN VON BESCHICHTUNGEN, INSBESONDERE AUS FOTOELEKTRISCHEM MATERIAL, AUF EINEM FLEXIBLEN TRAEGER DURCH AUFSPUTTERN
摘要
申请公布号 AT344501(B) 申请公布日期 1978.07.25
申请号 AT19760007760 申请日期 1976.10.19
申请人 COULTER INFORMATION SYSTEMS, INC. 发明人
分类号 C23C14/40;C23C14/56;H01J37/34;(IPC1-7):G03G5/00 主分类号 C23C14/40
代理机构 代理人
主权项
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