发明名称
摘要
申请公布号 JPS53119867(U) 申请公布日期 1978.09.22
申请号 JP19770024243U 申请日期 1977.02.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/339;G06G7/19;G06G7/22;G11C27/00;H01L29/762;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/339
代理机构 代理人
主权项
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