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发明名称 ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPS53131893(A) 申请公布日期 1978.11.17
申请号 JP19770045681 申请日期 1977.04.22
申请人 HITACHI LTD 发明人 HIROSE HIROSHI;KANBARA HIDEKI
分类号 H01J49/16 主分类号 H01J49/16
代理机构 代理人
主权项
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