发明名称 MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS544082(A) 申请公布日期 1979.01.12
申请号 JP19770069311 申请日期 1977.06.10
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TSUJI KAZUHIKO
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/283;H01L21/76;H01L29/06 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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