| 发明名称 |
GAS PHASE REACTION APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5421973(A) |
申请公布日期 |
1979.02.19 |
| 申请号 |
JP19770086094 |
申请日期 |
1977.07.20 |
| 申请人 |
CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI |
发明人 |
NOMURA MASATAKA |
| 分类号 |
C30B25/02;B01J12/02;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/48;C30B25/08;C30B25/14;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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