发明名称 |
PIEZOELECTRIC CRYSTAL FILM OF ZINC OXIDE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5429100(A) |
申请公布日期 |
1979.03.03 |
申请号 |
JP19770095412 |
申请日期 |
1977.08.08 |
申请人 |
MURATA MANUFACTURING CO |
发明人 |
OGAWA TOSHIO;MASUO TASUKU;NISHIYAMA KOUJI |
分类号 |
C04B35/453;C01G9/02;C23C14/08;C30B28/14;C30B29/16;H01L41/18 |
主分类号 |
C04B35/453 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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