| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR ETCHING SEMICONDUCTOR PLATES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB1556069(A) |
申请公布日期 |
1979.11.21 |
| 申请号 |
GB19760040629 |
申请日期 |
1976.09.30 |
| 申请人 |
PHILIPS ELECTRONIC & ASSOC IND LTD |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L31/04;C23F1/00;C23F1/08;H01L21/306;H01L31/18;(IPC1-7):28D5/06 |
主分类号 |
H01L31/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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