| 发明名称 |
PRODUCTION OF SILICON NITRIDE LAYER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS54157799(A) |
申请公布日期 |
1979.12.12 |
| 申请号 |
JP19780066376 |
申请日期 |
1978.06.01 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
TAKAYANAGI SHIGETOSHI;HIRAO TAKASHI |
| 分类号 |
C01C3/08;C01B21/06;H01L21/331;H01L29/73 |
主分类号 |
C01C3/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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