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发明名称 VERFAHREN ZUM BEFESTIGEN VON SILICIUM-PLANAR-CHIPS
摘要
申请公布号 DD139499(A1) 申请公布日期 1980.01.02
申请号 DD19780208906 申请日期 1978.11.07
申请人 SCHMIDT,DIETMAR,DD;STOECKEL,KLAUS-GUENTER,DD;LENZ,NORBERT,DD 发明人 SCHMIDT,DIETMAR,DD;STOECKEL,KLAUS-GUENTER,DD;LENZ,NORBERT,DD
分类号 H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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