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发明名称 BELEUCHTUNGSSYSTEM FUER FOTOLITHOGRAFISCHE KOPIERGERAETE
摘要
申请公布号 DD139475(A1) 申请公布日期 1980.01.02
申请号 DD19780208775 申请日期 1978.10.31
申请人 LEIPOLD,HERMANN,DD;OERTWIG,DETLEF,DD;NOFFKE,JUERGEN,DD 发明人 LEIPOLD,HERMANN,DD;OERTWIG,DETLEF,DD;NOFFKE,JUERGEN,DD
分类号 G03B27/32;G03B27/42;G03F7/00;G03F7/20;(IPC1-7):G03B27/42 主分类号 G03B27/32
代理机构 代理人
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