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发明名称 Procédé photolithographique
摘要
申请公布号 FR1442181(A) 申请公布日期 1966.06.10
申请号 FR19650027545 申请日期 1965.08.06
申请人 PHILCO CORPORATION 发明人
分类号 G03F7/04;H01L21/00;H01L21/312;H01L23/29 主分类号 G03F7/04
代理机构 代理人
主权项
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