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发明名称
摘要
申请公布号 FR2284143(B1) 申请公布日期 1981.06.12
申请号 FR19750027416 申请日期 1975.09.08
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO LTD 发明人
分类号 G01N21/88;G01B11/24;G01B11/30;G01N21/94;G01N21/956;G03F1/84;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/66 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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