| 发明名称 |
METHOD OF FORMING EXFOLIATING REGION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS56137651(A) |
申请公布日期 |
1981.10.27 |
| 申请号 |
JP19810014471 |
申请日期 |
1981.02.04 |
| 申请人 |
IBM |
发明人 |
TARISHIYUNAMAA BUENKATARAMAN;BOBU HON YUN |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/033;H01L21/308;H01L21/331;H01L21/762;H01L29/73 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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