发明名称
摘要
申请公布号 JPS57103515(U) 申请公布日期 1982.06.25
申请号 JP19800179698U 申请日期 1980.12.15
申请人 发明人
分类号 H01L37/00;G05D23/22;G05D23/24;H01L35/32;(IPC1-7):G05D23/22 主分类号 H01L37/00
代理机构 代理人
主权项
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