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发明名称
摘要
申请公布号
JPS57183746(U)
申请公布日期
1982.11.20
申请号
JP19810072272U
申请日期
1981.05.18
申请人
发明人
分类号
C23F4/00;C23F1/00;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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