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发明名称
HEIGHT MEASURING SYSTEM FOR CHARGED PARTICLE BEAM WRITERS
摘要
申请公布号
GB2055195(B)
申请公布日期
1983.04.27
申请号
GB19800018793
申请日期
1980.06.09
申请人
PHILIPS NV
发明人
分类号
H01L21/027;H01J37/304;(IPC1-7):G05D3/12
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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