发明名称 HEIGHT MEASURING SYSTEM FOR CHARGED PARTICLE BEAM WRITERS
摘要
申请公布号 GB2055195(B) 申请公布日期 1983.04.27
申请号 GB19800018793 申请日期 1980.06.09
申请人 PHILIPS NV 发明人
分类号 H01L21/027;H01J37/304;(IPC1-7):G05D3/12 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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