| 发明名称 |
METHOD OF PREPARING AN EMULSION FOR PROTECTING A PHOTOMASK |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
YU186379(A) |
申请公布日期 |
1983.12.31 |
| 申请号 |
YU19790001863 |
申请日期 |
1979.07.30 |
| 申请人 |
RIZ-ELEKTRONIKA TELEKOMUNIK AUTOMAC OOUR TVOR POLUVOD |
发明人 |
ROCAK R.;SINOVCEVIC R. |
| 分类号 |
C01B33/00;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
C01B33/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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