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发明名称
摘要
申请公布号
JPS5948052(U)
申请公布日期
1984.03.30
申请号
JP19820142665U
申请日期
1982.09.22
申请人
发明人
分类号
B65G33/02;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
B65G33/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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