| 发明名称 |
Method for producing a beryllium oxide film |
| 摘要 |
A beryllium oxide (BeO) film is disclosed, which is produced by impinging partially ionized vapor of metal beryllium and oxygen upon a substrate.
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| 申请公布号 |
US4451499(A) |
申请公布日期 |
1984.05.29 |
| 申请号 |
US19820403151 |
申请日期 |
1982.07.29 |
| 申请人 |
FUTABA DENSHI KOGYO KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
MORIMOTO, KIYOSHI;TAKAGI, TOSHINORI;WATANABE, HIROSHI |
| 分类号 |
C23C14/06;B01J19/08;C01F3/02;C04B35/08;C23C14/00;C23C14/08;C23C14/32;C23C14/56;C30B25/02;C30B25/06;C30B28/12;C30B28/14;C30B29/16;(IPC1-7):B05D5/12 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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