发明名称 ALIGNMENT DEVICE FOR CHARGED PARTICLE BEAM APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS59103255(A) 申请公布日期 1984.06.14
申请号 JP19820212499 申请日期 1982.12.03
申请人 NIPPON DENSHI KK 发明人 SAKAI YUUJI
分类号 H01J37/04;H01J37/28 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
主权项
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