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发明名称 MICROWAVE TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS59143074(A) 申请公布日期 1984.08.16
申请号 JP19830016942 申请日期 1983.02.04
申请人 FUJITSU KK 发明人 FUJIMURA SHIYUUZOU;KISA TOSHIMASA
分类号 C23F4/00;C23F1/08;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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