SELF-COMPENSATING HYDROSTATIC FLATTENING OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATES

摘要

Un substrat semiconducteur (1), par exemple une tranche de silicium, est monté sur une plaque de base (3) afin d'être inclus dans un dispositif optique comme un relais optique à cristaux liquides. Un plan optique (9) presse la surface supérieure de la tranche de silicium en direction de la plaque de base et contre un joint annulaire (5) entourant un adhésif fluide (7). L'adhésif fluide distribue de manière hydrostatique la force de compression afin de garantir une absence de distorsion optique et une autocompensation pour la quantité d'adhésif fluide entouré par le joint torique. L'absence de distorsion optique du substrat semiconducteur n'est limitée que par l'absence de distorsion du plan optique contre lequel il est comprimé. On obtient un alignement parallèle du plan optique (9), du substrat (1) et de la plaque de base (3) en faisant réfléchir un rayon laser (20) à travers le substrat semiconducteur et en y observant les franges d'interférence, tout en ajustant l'alignement relatif de manière à maximaliser la distance séparant les franges.