| 发明名称 |
VORRICHTUNG ZUM HERSTELLEN VON SCHICHTEN MIT ROTATIONSSYMMETRISCHEM DICKENPROFIL DURCH KATODENZERSTAEUBUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3306870(A1) |
申请公布日期 |
1984.08.30 |
| 申请号 |
DE19833306870 |
申请日期 |
1983.02.26 |
| 申请人 |
LEYBOLD-HERAEUS GMBH |
发明人 |
SELLSCHOPP,MICHAEL,DIPL.-PHYS.DR. |
| 分类号 |
C23C14/04;H01L21/203;H01L21/31;(IPC1-7):C23C15/00 |
主分类号 |
C23C14/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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