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发明名称
摘要
申请公布号 JPS60114813(U) 申请公布日期 1985.08.03
申请号 JP19840003122U 申请日期 1984.01.13
申请人 发明人
分类号 B24B27/06;B28D1/22;B28D5/00;B28D5/04;H01L21/02;H01L21/304;(IPC1-7):B28D1/22 主分类号 B24B27/06
代理机构 代理人
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