发明名称 |
PATTERN DATA HANDLING SYSTEM FOR AN ELECTRON BEAM EXPOSURE SYSTEM |
摘要 |
|
申请公布号 |
GB2152717(A) |
申请公布日期 |
1985.08.07 |
申请号 |
GB19850003986 |
申请日期 |
1982.10.04 |
申请人 |
* VARIAN ASSOCIATES INC |
发明人 |
DONALD W * BERRIAN;BILLY W * WARD |
分类号 |
H01L21/30;H01J37/302;(IPC1-7):G06F12/04 |
主分类号 |
H01L21/30 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|