发明名称 Cathode sputtering
摘要
申请公布号 GB2154249(A) 申请公布日期 1985.09.04
申请号 GB19850002734 申请日期 1985.02.04
申请人 GLYCO-METALL-WERKE * DAELEN & LOOS GMBH 发明人 KLAUS * GOERKE;DR ERICH * HODES;MICHAEL * STEEG
分类号 C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/02 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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