| 发明名称 |
WORK ROBOT DEVICE IN CLEAN ROOM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS60180789(A) |
申请公布日期 |
1985.09.14 |
| 申请号 |
JP19840034855 |
申请日期 |
1984.02.25 |
| 申请人 |
SONY KK |
发明人 |
AKANUMA KIYOHIKO;AIBA TAKESHI;OOHASHI HIDEJI |
| 分类号 |
B25J19/00;B25J5/02;B25J13/00;B60L13/03;G05D1/02 |
主分类号 |
B25J19/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
