发明名称 METHOD OF ETCHING CHROMIUM, AND ETCHANT COMPOSITIONS FOR CARRYING IT OUT
摘要
申请公布号 EP0067984(B1) 申请公布日期 1985.09.25
申请号 EP19820104812 申请日期 1982.06.02
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 ABOLAFIA, OSCAR ROBERT;AMEEN, JOSEPH GEORGE;ELMORE, GLENN VANNESS
分类号 C23F1/26;H05K3/06;(IPC1-7):C23F1/00;C09K13/06 主分类号 C23F1/26
代理机构 代理人
主权项
地址