| 发明名称 |
CASSETTE ELEVATOR USED FOR MODULE TREATER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS60204507(A) |
申请公布日期 |
1985.10.16 |
| 申请号 |
JP19850046336 |
申请日期 |
1985.03.08 |
| 申请人 |
TEEGARU CORP |
发明人 |
NINKO TEII MIRUKOBITSUCHI |
| 分类号 |
B65G1/08;B65G1/00;B65G49/07;H01L21/67;H01L21/677 |
主分类号 |
B65G1/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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