REPERE POUR LE POSITIONNEMENT AUTOMATIQUE D'UN SOUS-COUCHE DE SEMI-CONDUCTEUR ET PROCEDE DE FABRICATION,申请号RO19830111968-传众专利搜索

发明名称	REPERE POUR LE POSITIONNEMENT AUTOMATIQUE D'UN SOUS-COUCHE DE SEMI-CONDUCTEUR ET PROCEDE DE FABRICATION
摘要
申请公布号	RO87878(A)	申请公布日期	1985.12.20
申请号	RO19830111968	申请日期	1983.08.31
申请人	TECH MIKROELEKTRONIK FORSCH	发明人	WESTPHAL PETRE,DD;BAYER CHRISTIAN,DD;ANDRITZKO LOTHAR,DD;PFORR RAINER,DD;WALDMANN GEORG,DD
分类号	H01L21/306;H01L21/308;H01L21/31;H01L21/465;H01L21/68	主分类号	H01L21/306
代理机构		代理人
主权项
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