发明名称 |
PHOTOLUMINESCENCE METHOD OF TESTING DOUBLE HETEROSTRUCTURE WAFERS |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2127149(B) |
申请公布日期 |
1986.04.03 |
申请号 |
GB19830023920 |
申请日期 |
1983.09.07 |
申请人 |
* WESTERN ELECTRIC COMPANY INCORPORATED |
发明人 |
PAUL RAYMOND * BESOMI;JOSHUA * DEGANI;DANIEL PAUL * WILT |
分类号 |
G01R31/26;G01N21/64;G01R31/308;H01L21/66;H01S5/00;(IPC1-7):G01N21/64;G01N21/88;G01R27/02 |
主分类号 |
G01R31/26 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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