| 发明名称 |
Method for surface treatment of semiconductor elements |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
US3298875(A) |
申请公布日期 |
1967.01.17 |
| 申请号 |
US19630285784 |
申请日期 |
1963.06.05 |
| 申请人 |
SIEMENS-SCHUCKERTWERKE AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
SCHINK NORBERT |
| 分类号 |
C23C8/02;C23C8/10;H01L23/29 |
主分类号 |
C23C8/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
