发明名称 STRIPPING COMPOSITIONS FOR PHOTORESIST MATERIALS
摘要
申请公布号 AU552507(B2) 申请公布日期 1986.06.05
申请号 AU19820088194 申请日期 1982.09.10
申请人 BAKER, J. T. CHEMICAL CO. 发明人 IRL EUGENE WARD;LISA GAIL HALLQUIST;THOMAS JOSEPH HURLEY
分类号 G03F7/42;(IPC1-7):G03C11/12;G03F7/02 主分类号 G03F7/42
代理机构 代理人
主权项
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