| 发明名称 |
GLOW DISCHARGE DEPOSITION APPARATUS HAVING PLASMA CONFINING REGION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS61264179(A) |
申请公布日期 |
1986.11.22 |
| 申请号 |
JP19860059074 |
申请日期 |
1986.03.17 |
| 申请人 |
SOUBONIKUSU SOLAR SYST |
发明人 |
JIYOACHIMU DOEERAA;MASATSUGU IZU |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/517;C23C16/54;H01J37/32 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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