| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6216511(A) |
申请公布日期 |
1987.01.24 |
| 申请号 |
JP19850154206 |
申请日期 |
1985.07.15 |
| 申请人 |
MITSUI TOATSU CHEM INC |
发明人 |
FUKUDA NOBUHIRO;KOBAYASHI SADAO;OHASHI YUTAKA;MIYAJI KENJI |
| 分类号 |
H01L31/04;G03G5/08;H01L21/205;H01L21/263 |
主分类号 |
H01L31/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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