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发明名称 MANUFACTURE OF MASK
摘要
申请公布号 JPS6216529(A) 申请公布日期 1987.01.24
申请号 JP19860107534 申请日期 1986.05.10
申请人 MAIKURONIKUSU CORP 发明人 FUIRITSUPU EDOWAADO MOOGAA
分类号 G03F1/00;G03F1/68;G03F1/80;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
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