| 发明名称 |
MULTI-PLANAR ELECTRODE PLASMA ETCHING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2135816(B) |
申请公布日期 |
1987.04.08 |
| 申请号 |
GB19830005407 |
申请日期 |
1983.02.26 |
| 申请人 |
* DRYTEK INC |
发明人 |
JOSEPH A * MAHER;ARTHUR W * ZAFIROPOULO |
| 分类号 |
H01L21/302;C23F4/00;H01J37/32;H01J37/34;H01L21/00;H01L21/3065;H01L21/677;(IPC1-7):H01J37/32;H01J37/02 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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