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发明名称 SPECTROMETER FOR DETECTING SECONDARY ELECTRONS PRODUCED BY AN ELECTRON PROBE FROM A TARGET
摘要
申请公布号 EP0075709(B1) 申请公布日期 1987.04.08
申请号 EP19820107490 申请日期 1982.08.17
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUNCHEN 发明人 FEUERBAUM, HANS-PETER, DIPL.-PHYS.
分类号 G01R31/26;G01Q30/02;G01R31/302;H01J37/252;H01J49/08;H01J49/44;H01L21/66;(IPC1-7):H01J49/44;G01R31/28 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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