VERTICAL VAPOR PHASE CHEMICAL GENERATOR,申请号JP19850220176-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	VERTICAL VAPOR PHASE CHEMICAL GENERATOR
摘要
申请公布号	JPS6281019(A)	申请公布日期	1987.04.14
申请号	JP19850220176	申请日期	1985.10.04
申请人	OKI ELECTRIC IND CO LTD	发明人	YONEMARU TAKURO
分类号	H01L21/205	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
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