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发明名称 OPTICAL LITHOGRAPHIC PROCESSES
摘要
申请公布号 GB2145243(B) 申请公布日期 1987.08.26
申请号 GB19840016345 申请日期 1984.06.27
申请人 * GENERAL ELECTRIC COMPANY 发明人 BRUCE FREDERICK * GRIFFING
分类号 G03F7/09;H01L21/027;(IPC1-7):G03C1/68 主分类号 G03F7/09
代理机构 代理人
主权项
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