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发明名称 VERFAHREN ZUR BERUEHRUNGSFREIEN POTENTIALMESSUNG AN FESTKOERPEROBERFLAECHEN
摘要
申请公布号 DD249572(A1) 申请公布日期 1987.09.09
申请号 DD19860290690 申请日期 1986.05.29
申请人 AKADEMIE DER WISSENSCHAFTEN DER DDR,DD 发明人 DRIESEL,WOLFGANG,DD;MATERN,DETLEV,DD
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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