发明名称 GENERATEUR DE PLASMA
摘要 <P>LA PRESENTE INVENTION CONCERNE UN GENERATEUR DE PLASMA. CE GENERATEUR DE PLASMA COMPREND UNE ENCEINTE 2 A UN PREMIER POTENTIEL VI REMPLIE D'UN GAZ A FAIBLE PRESSION ET UNE SURFACE D'ELECTRODE TRANSPARENTE CONSTITUEE D'UN RESEAU DE FILS, D'UNE GRILLE OU D'UNE PLAQUE PERFOREE 3 A UN SECOND POTENTIEL V2 SUPERIEUR A V1. AINSI, UN ELECTRON 4 PRESENT DANS L'ENCEINTE SERA ENTRAINE EN OSCILLATION DE PART ET D'AUTRE DE LA SURFACE D'ELECTRODE TRANSPARENTE 3 POUR FOURNIR DES ELECTRONS SECONDAIRES 11 ET 12 QUI DONNERONT EUX-MEMES NAISSANCE A D'AUTRES ELECTRONS SECONDAIRES 13-14, 15-16. EGALEMENT, A CHAQUE FOIS SERONT CREES DES IONS I1, I2, I3...</P><P>APPLICATION COMME SOURCE LUMINEUSE, SOURCE D'IONS, POMPE IONIQUE, JAUGE DE PRESSION...</P>
申请公布号 FR2596580(A1) 申请公布日期 1987.10.02
申请号 FR19860004725 申请日期 1986.03.26
申请人 CENTRE NAL RECHERC SCIENTIFIQUE 发明人 JACQUES MENET ET VINCENT COMPARAT;COMPARAT VINCENT
分类号 H01J27/08;H01J37/32;H01J41/12;H01J61/70;H05H1/00;H05H1/03;H05H1/48;(IPC1-7):H01J41/00 主分类号 H01J27/08
代理机构 代理人
主权项
地址