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发明名称 EVAPORATING SOURCE DEVICE FOR VACUUM DEPOSITION
摘要
申请公布号 JPS6326351(A) 申请公布日期 1988.02.03
申请号 JP19860168127 申请日期 1986.07.18
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 KOBAYASHI YASUHIRO;IGUCHI MASAO;NISHIIKE UJIHIRO;SUJITA SHIGEKO;SUZUKI KAZUHIRO
分类号 C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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