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Procédé pour produire une couche de nitrure d'aluminium amorphe présentant la stoechiométrie désirée. Ce procédé consiste à disposer un substrat à proximité étroite d'une cible en aluminium dans une atmosphère à basse pression d'azote et d'un gaz inerte, et à vaporiser par réaction une couche de nitrure d'aluminium sur le substrat à une certaine cadence minimale de dépôt tout en maintenant à l'intérieur de certaines limites certains paramètres (c'est-à-dire rapport azote-gaz inerte, température du substrat, puissance de pulvérisation, débit d'azote et pression de pulvérisation). |
