发明名称 TRAPPOLA A FLUIDO REFRIGERANTE PER EVAPORATORI SOTTO VUOTO PER LA DEPOSIZIONE DI SOTTILI PELLICOLE METALLICHE
摘要
申请公布号 IT1197069(B) 申请公布日期 1988.11.25
申请号 IT19860021421 申请日期 1986.08.06
申请人 SGS MICROELETTRONICA SPA. 发明人 VISCUSO ORAZIO
分类号 B01D8/00;C23C14/56;(IPC1-7):B01D/ 主分类号 B01D8/00
代理机构 代理人
主权项
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