发明名称 INSULATING SUBSTRATE FOR THIN-FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPS6464253(A) 申请公布日期 1989.03.10
申请号 JP19870220789 申请日期 1987.09.03
申请人 RICOH CO LTD;RICOH RES INST OF GEN ELECTRON 发明人 INAGI SHUNICHI;ISHIDA MAMORU;AKIYAMA ZENICHI;KOBATA MITSUHIRO
分类号 H01L21/84;H01L27/12;H01L29/02 主分类号 H01L21/84
代理机构 代理人
主权项
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